22日早盘，光刻机相关概念股大涨，蓝英装备(15.620,1.42,10.00%)和捷捷微电(27.520,2.50,9.99%)涨停，科创板个股安集科技涨近18%、华特气体(89.300,8.87,11.03%)涨12%。

光刻机是芯片制造中最核心设备，复杂程度高，形成庞大产业链。光刻环节是晶圆制造中最核心工艺，占晶圆制造耗时40%-50%，占芯片成本30%。作为光刻工艺的核心设备，光刻机结构复杂、成本极高，占晶圆制造设备投资23%。区别于其他晶圆制造设备，浸没式DUV和EUV光刻机可形成自身产业链，因此高端光刻机的突破需要物镜、光源、浸没式系统等核心组件和光刻胶、光刻气、光罩、涂胶显影设备、检测设备等诸多配套设施的协同发展。

西南证券(4.650,0.07,1.53%)指出，光刻产业链组件推荐福晶科技(14.400,0.55,3.97%)，建议关注国科精密、启尔机电、华卓精科、科益虹源等02专项支持企业研发进度;光刻胶建议关注南大光电(45.080,3.35,8.03%)、晶瑞股份(43.800,1.83,4.36%)、雅克科技(48.200,2.04,4.42%)、上海新阳(63.560,2.51,4.11%)、容大感光(66.990,3.28,5.15%)、北京科华等;涂胶显影设备建议关注芯源微(122.300,5.70,4.89%)，前道检测设备推荐精测电子(72.230,2.88,4.15%)，建议关注睿励科学、赛腾股份(51.920,4.72,10.00%);光刻气建议关注华特气体、凯美特气(8.090,-0.05,-0.61%);光罩建议关注清溢光电(27.080,1.93,7.67%)、菲利华(30.480,1.58,5.47%)。